洁净厂房室内要平整光滑, 不积尘, 不起尘, 易于清扫。因此, 建筑材料的选择,构造处理必须认真细致。顶棚是多功能的结构物, 不仅为了建筑上的美观, 还要满足空调和照明的要求。空调进风口布置要均匀, 间距要适当, 数量要充足, 保证良好的气流组织。照明要结合室内空间合理布置, 既有现代的美感, 又保证足够的照度和高度的均匀性。顶棚还要做到捡修不影响生六。
顶棚结构形式大体上可分为三类即现浇钢筋混凝土板、预制钢筋混凝土板、轻骨架板材吊顶。其中, 轻骨架板材吊顶应用范围最广, 它包括骨架、透光板材、不透光板材。透光板材国内可供选择的为有机玻璃、钢化玻璃、夹层安全玻璃不透光板材可选用复合钢板、电化铝板、塑科饰面板、玻璃钢板、不锈钢板。
墙面可分为板材类和涂料类。除顶棚所述的各种板材外, 还有大理石、水磨石、彩色玻璃、磁砖, 这类材料的缺点是缝隙不好处理。涂料类系指高级油漆或玻璃钢整体裱湖, 这类材料完整无缝, 效果良好。此外, 各种高档塑料墙纸也可供选择。
地面要求平坦光滑, 不起尘, 不积尘, 热工性能好, 耐磨, 有弹性。根据洁净要求可选用嵌木地板、高级水磨石、大理石、花岗石、塑料地板、塑料卷材地板、现侥无缝塑料玛蹄脂。采用刚性地面时, 应在垫层或结合层适当配筋, 使不产生温度裂缝。垫层施工缝不宜留在房间内, 应留在不同材料交接处或与地面伸缩缝重合。
门窗门的设计应有良好的密封性能和使用方便, 以金属材料为宜。外门密封为主, 内门使用方便为主, 也得保证密封性能。外门设门斗, 内门只设一道, 只有在有恒压要求时, 才设门斗, 以利压力调整。门的开启方式从有利气流稳定出发, 最好采用推拉式。窗一般不设置, 如需要设置, 一定要保证严格的密闭性能, 从构造上减少接缝,处理好窗框和墙的缝隙。递物窗是洁净厂房中的特殊设备, 使零部件或产品在传递中不带进外部尘埃, 常用的有连锁双层窗、中轴旋转窗、通过式洗涤箱。室内设计除上述主要构件外, 还有室内凸凹角、电开关、插头、配电箱、扩杂餐、屯钟、排风栅、消防设备等都需要认真加以处理。