不同的洁净工业厂房照度按工艺要求的不同也有较大的差异，如显像管工厂的电子枪装配车间混合照明的照度要达到1000~3000 1x，除设置一般照明外，还需设置局部照明，局照明占混合照明照度的比例不能太大，一般照明照度为混合照明照度的5~15%。我国由于电力较紧张扩大了局部照明在混合照明中的照度比例。如果空间照度低，容易产生眩光，使人感到疲劳，但光源亮度不能太高，常选用荧光灯等线状光源或带磨砂玻璃的白炽灯。
其次，洁净厂房中对光源有特殊要求的车间，如：显像管厂的荧光粉涂敷间、半导体厂房中的光刻间，为了防止感光材料的感光，必须使用黄色或红色光源的，应满足其特殊要求选用黄色荧光灯管或低压钠灯，黄色荧光灯管也有两种，一种为灯管内壁涂黄色荧光粉；另一种为白色荧光灯管外套黄色塑料套管，他们的光通量比一般荧光灯都要低。
由于洁净室的特殊性，一般照明灯具的选型应选用外型表面光滑，凹凸面少不家积灰，容易清扫且用不宜产生静电材料制成的灯具。在满足照度要求外，灯具的选型和布置主要还应根据室内气流流型来考虑，当顶棚为垂直单向流送风口时，如：超大规模集成电路厂的光刻车间，其高效过滤器送风口的面积有时可达顶棚面积的80%左右，这样就给灯具的布置带来了困难，此时宜选用泪珠式荧光灯，这种灯具对气流影响较少上，可安装在高效过滤器专用铝型材框架下侧，既不妨碍送风又有效的利用了仅有的顶棚空间，根据顶棚模数不同，可以选择灯具的不同长度。
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